“集成电路工艺与装备系” 2021年2月20日，北京航空航天大学集成电路科学与工程学院正式成立集成电路工艺与装备系。工艺与装备系的成立，是我校高水平建设“集成电路科学与工程”一级学科的关键...

研究背景理论上，将多种性质迥异的元素均匀地整合在纳米颗粒中，会赋予纳米颗粒更多的性质和功能，有望在催化、能源存储、生物成像和等离子成像等领域大放异彩。然而，由于元素之间存在巨大的性...

近日，纳米科学领域又有重大突破。通过多所大学的合作，科学家找到了一种通用的简单方法，首次将多种在常识中不能相容的元素在纳米尺度进行均匀的分散融合，制备出含有八种元素的单相固溶纳米颗...

MEMS制造工艺（Microfabrication Process）是下至纳米尺度，上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺，方式十分丰富，几乎涉及了各种现代加工技术。起源于半导体和微电子工艺，...