PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指 等离子体增强化学的气相沉积法。是生产人造钻石的一种工艺，这种方法有很多优点，比如颜色等级高，成膜质量好等。 中文名 等离子体...

大江东︱最快最亮！上海这束“国际光”能拍活细胞“遗像” 2021-8-5 9:49:15 来源：人民日报 打印 5月14日下午，一个激动人心的消息，从中国科学院上海高等研究院传出：我国首台X射线自由电子激...

浅谈RIE反应离子刻蚀机，芯片工艺人不可错过！ 作者  华慧高芯网|发布：2021-08-31 07:01:47    更新：2019-07-19 15:24:26 阅读 1赞 0 随着大规模集成电路制造朝着更高集成度、更小关...

编辑词条 “等离子体刻蚀机”一般是指“等离子刻蚀机” 等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最...